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      十二槽清洗機

      十二槽清洗機

      用于三擴工序,對硅片進行清洗處理:整個清洗過程分別由11個槽完成。適用于四個456”片架/每工位,除進出料槽需人工進行外,其余各槽的清洗順序及清洗時間均可按所設定的要求進行全過程自動清洗。

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