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      雙槽清洗機

      雙槽清洗機

      該設備用于晶圓片擴散、蒸發、CVD生產前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗。整個清洗過程均在PLC的控制下自動完成,其工藝性能指標及可靠性完全達到進口同類設備水平,但價格、售后服務、備品備件的供給等是進口設備無法比擬的。

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