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鋁腐蝕清洗機

鋁腐蝕清洗機

用途：用于對晶圓鋁膜鍍層進行腐蝕，清洗處理

主要技術參數：

處理片架能力：4”5”6”晶圓片，2個片架/每工位

片架上下提拉：6~10次/分鐘

片架槽底轉動：40~50轉/分鐘

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